微流控湿法刻蚀的工艺中，流道的宽度等于设计宽度+2*刻蚀深度，因此存在设计稿与实物具有差别的问题，为实验设计带来较多不变。 chip_etching软件包用为基于图像处理的微流控芯片刻蚀模拟程序，用于模拟湿法刻蚀过程，辅助微流控芯片设计。
首先获取芯片的轮廓，然后每一个轮廓上的像素以刻蚀深度为半径向外扩展，模拟刻蚀过程。
- 首先将微流控芯片的CAD设计稿导出为无压缩的PNG格式，分辨率越高越好，大约需要3000*2000。
- 采用Photoshop或其他软件将设计稿二值化，并储存为无压缩的tif格式。
- 使用etching_simulation.ipynb进行刻蚀模拟。
- 二值化处理后的微流控芯片：
- 刻蚀模拟结果：
- 微流控芯片的实物照片：
可以看出，刻蚀模拟结果与实物十分接近。
- Python
- scipy
- matplotlib
Haowei Jia, China University of Petroleum, [email protected]. 贾昊卫，中国石油大学（北京），[email protected]。
MIT